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DT401 TL 축 서보 모터 KXF0DX1BA00 미츠비시 서보 모터 HC-MF23B-S24
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CM402 CM212 X축 모터 KXF0CWNAA00 N510005279AA 미츠비시 서보 HC-MFS43-S25
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CM602 Y축 서보 다이버 N510002594AA 미츠비시 AC 서보 증폭기 MR-J2S-350B-S041U703
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CM402 CM212 Y-축 모터 KXF0CWLAA00 미츠비시 서보 모터 HC-RFS103-S1
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CM402 X 축 드라이버 서보 증폭기 KXFP6GE1A00 MR-J2S-40B-EE085
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CM402 Y 축 서보 증폭기 드라이버 KXFP6GB0A00 MR-J2S-100B-EE085
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SM471 SM481를 위한 맨 위 진공 여과기 흡입 VYF44M-50M
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피더 GXH-1 부품 Assy 레버 MAKITORI-R MAKITORI-L 6301592589 6301592596